WCM   Wafer Charging Monitors, Inc.

빈번한 질문

이 페이지의 첫번째 절에서는 웨이퍼 차징, 가능한 문제점 및 웨이퍼 차징 모니터가 도움을 줄 수 있는 방안에 관한 기본 FAQ를 다룹니다. 이미 이 문제에 대해 잘 알고 있다면 이 절을 생략하고 고급 FAQ로 직접 이동하시기 바랍니다.

기본 FAQ

1.Q. "웨이퍼 차징"이란 무엇입니까?
A. 웨이퍼 프로세싱 단계 도중 웨이퍼의 표면에 전하가 축적되는 현상.

2.Q. 어떤 종류의 프로세스에서 웨이퍼 차징이 일어날 수 있습니까?
A. 이온 주입, 플라즈마 에칭, 애싱(ashing), 플라즈마 증착 및 스프레이 린싱.

3.Q. 웨이퍼 차징이 웨이퍼에 손상을 줄 수 있습니까?
A. 예! 그리고 이 손상이 웨이퍼 수율과 제품 안정성을 떨어뜨릴 수 있습니다.

4.Q. 차징 손상에 취약한 구조는 어떤 것이 있습니까?
A. 박막 게이트 산화물, 섈로우 접합, EEPROM 셀 등.

5.Q. 웨이퍼 차징 문제는 어떻게 발견할 수 있습니까?
A. WCM의 "CHARM®-2" 웨이퍼 차징 모니터와 ChargeMap® 소프트웨어를 사용합니다.

6.Q. 어떤 장비가 차징 손상을 일으키는지 알아내는 가장 좋은 방법은 무엇입니까?
A. 각 프로세스 툴을 통해 CHARM®-2 웨이퍼를 실행시킵니다. 차징에 문제가 있다면 이상이 있는 툴이 "손가락 염증"과 같이 돌출될 것입니다!

7.Q. CHARM®-2 웨이퍼를 사용해서 새로운 프로세싱 툴이 생산에 적합한지 확인할 수 있습니까?
A. 예. "좋다"고 알려져 있는 (웨이퍼 차징 손상을 일으키지 않기 때문에) 이전에 사용하던 툴로부터 생긴 CHARM®-2 결과와 새로운 툴로부터 생긴 CHARM®-2 결과를 비교하면 됩니다. 새로운 툴의 CHARM®-2 결과가 이전에 사용하던 툴의 결과보다 더 좋거나 같으면 새로운 툴로 처리된 웨이퍼도 웨이퍼 차징 손상을 일으키지 않을 것입니다.

8.Q. WCM의 "CHARM®-2" 웨이퍼 차징 모니터 웨이퍼는 어떻게 작동합니까?
A. 여기에는 특수한 EEPROM 기반 센서가 포함되어 있어서, 실제 웨이퍼 프로세싱 단계 동안에 축적되는 전하의 양을 측정합니다.

9.Q. CHARM®-2 웨이퍼를 사용하기 위해 내 장비를 수정해야 합니까?
A. 아니오.

10.Q. 모니터 웨이퍼는 어떻게 사용됩니까?
A. 조사되고 있는 실제 웨이퍼 프로세싱 단계를 거친 다음, 특수 EEPROM 기반 센서를 측정하여 전하량을 판단합니다.

11.Q. 프로세스 장비에서 웨이퍼 전하량을 정확하게 계량하려면 실험적 분할을 할 때마다 몇 개의 CHARM®-2 웨이퍼가 필요합니까?
A. 한 개. CHARM®-2 웨이퍼는 여러 번 다시 사용될 수 있기 때문에 아주 비용 효율적입니다.

12.Q. CHARM®-2 결과는 얼마나 재생 가능합니까?
A. CHARM®-2 웨이퍼는 사용 전에 조정되기 때문에 CHARM®-2 결과는 웨이퍼간 및 로트간에 충분히 재생 가능합니다.

13.Q. 제품 웨이퍼에 대한 손상을 예측하는 데 있어서 이 모니터는 신뢰할만 합니까?
A. 차징 결과가 "좋은" 경우 차징 손상이 일어날 가능성은 희박합니다.
차징 결과가 "나쁜" 경우에는 손상이 일어날 가능성이 있습니다.
차징 결과가 "중간 수준"인 경우 안전을 위해 추가 테스트가 필요합니다.

14.Q. 모니터 웨이퍼를 측정하기 위해 직접 테스트 소프트웨어를 만들어야 합니까?
A. 아니오. Hewlett-Packard와 Kiethley 모두 자신들의 테스터에서 사용할 수 있도록 CHARM® 모니터 테스트 소프트웨어를 제공합니다.

15.Q. 테스터 없이도 CHARM®-2 웨이퍼를 사용할 수 있습니까?
A. 예. WCM이 고객 대신 웨이퍼를 테스트하여 결과를 요약한 보고서(웨이퍼 맵과 J-V 도면 포함)를 제출할 수 있습니다.

16.Q. WCM은 CHARM®-2에 대한 적용을 지원합니까?
A. 예. WCM은 적용 지원과 데이터 분석 지원을 모든 고객께 제공합니다.

17.Q. 누가 "웨이퍼 차징 모니터"를 사용합니까?
A. 새로운 프로세스와 하드웨어 설계를 점검하려는 반도체 장비 제조업체 및 웨이퍼 제작 프로세스를 개선하고 성능을 확인하는 프로세스 엔지니어.

18.Q. CHARM®-2 웨이퍼는 어디에 사용됩니까?
A. CHARM®-2 웨이퍼는 잘못된 장비를 식별하고, 장비 안정성을 감시하고, 장비 및 프로세스를 개선하고, 유지보수 후 장비 성능을 확인하고, 웨이퍼 처리량을 개선하는 데 가장 일반적으로 사용되는 장비입니다.

19.Q. 이 모니터들의 유용성을 증명해줄 사람은 있습니까?
A. WCM은 "비 독점" 참조를 제공하기로 동의한 고객들의 이름과 전화번호를 알려 드릴 수 있습니다.

고급 FAQ

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플라즈마 에치 이온 주입 플라즈마 증착
일반 토포그라피 및 레지스트 효과

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