Wafer Charging Monitors, Inc.

產品與服務

可重複使用的 CHARM®-2 晶圓，備有 200mm、150mm、125mm、100 和 75mm 等大小供您選擇。庫存中備有所有這些規格的晶圓。我們還同時提供高靈敏度晶圓和高動態範圍的晶圓，以便滿足各種不同的應用需要。
Agilent (HP) 和 Keithley 測試器上的 CHARM®-2 晶圓測試。我們可以為您在 Agilent (HP) 和 Keithley Instrument 參數測試器上執行 CHARM®-2 晶圓的現場測試，處理設備的評估在一個小時之內即可完成。
用於現場分析 CHARM®-2 資料的 ChargeMap® 軟體。ChargeMap® 資料分析和顯示軟體是對 Agilent (HP) 和 Keithley Instrument 測試軟體的補充，用以對 CHARM®-2 資料進行現場分析。ChargeMap® 可在裝有 Windows 的 PC 上執行，使用簡單，並且可以為工程或製造環境進行組態。
DamageMap™ 可以輕易地找出充電問題。ChargeMap® 的全新增強，DamageMap™ 可以總結 CHARM®-2 結果，在一個簡單的晶圓圖上顯示出加在閘極氧化層上的電流密度（充電損害的真正原因）。直接將 DamageMap™ 圖與產品良率晶圓圖比較即可確定導致充電損害的設備。沒有任何其他的充電監視器可以提供這一功能。
CHARM®-2 應用程式支援。CHARM®-2 晶圓可用以測量離子植入器、光阻去除器、矽晶蝕刻器、金屬蝕刻器、氧化物蝕刻器、濺射清潔和沉積系統、氧化物沉積系統、金屬沉積系統和噴洗器等設備的 UV 劑量和充電效能。我們會讓您瞭解相關的應用技術知識。
充電問題故障排除支援。要找出導致充電損壞的處理設備通常會讓人非常頭痛，而使用 CHARM®-2 則使這一工作變得非常簡單。 我們非常樂意幫助您完成這項工作。
設備與處理評估服務。這是瞭解 CHARM®-2 最簡單的途徑。您所要做的僅僅是將 CHARM®-2 放進處理容器內而已－剩下的工作則由我們來完成。 我們會為您提供一份報告，其中包含晶圓表面－基底電勢圖、UV 劑量以及充電源的 J-V 特征，並向您展示如何使用它們來預測裝置損毀。
CHARM®-2 晶圓的光阻遮罩。您也可以使用自已的產品光阻遮罩獲得有用（但不夠詳盡）的資訊。我們會告訴您怎樣做到這一點。
特殊項目。若您需要此處未提及的特殊工具或服務，請與我們討論相關事宜。我們經常會參與合作開發項目，以滿足客戶的需要。
成功事例。想知道我們的客戶對 CHARM®-2 監視器晶圓的評價嗎？請致電給我們－我們很樂意提供相關的參考。我們在全球 80 多家公司中擁有 500 多名滿意的客戶。

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