Wafer Charging Monitors, Inc.

製品情報およびサービス

再使用可能な CHARM®-2 ウェーハ (サイズ： 200mm、150mm、125mm、100mm、75mm) これらのウェーハサイズは、すべて在庫があります。広範囲のアプリケーションに対応できる高感度ウェーハおよび高ダイナミックレンジウェーハも用意してあります。
Agilent (HP) 社および Keithley 社のテスター上で CHARM®-2 ウェーハを試験済。Agilent (HP) と Keithley Instruments のパラメトリックテスターをお持ちの方はこれを使用することにより、CHARM®-2 ウェーハをその場で試験することができます。この試験では、プロセス装置の評価を 1時間以内でできます。
CHARM®-2 データの現場解析用 ChargeMap® ソフトウェア。ChargeMap®データ解析およびディスプレイソフトウェアでは、Agilent (HP) 社および Keithley Instruments 社製にテスト用ソフトウェアを補足することにより、CHARM®-2 データをその場にて解析することができます。ChargeMap® は、Windows を搭載した PC上で動作し、使い易く、技術や製造の分野に応じて構築することができます。
DamageMap™ は局所なチャージング問題を見つけ出します。 ChargeMap® を改良して作られた DamageMap™ は、CHARM®-2 の結果をゲート酸化膜に流れる電流密度 (チャージングダメージの真の原因) 1 枚のウェーハマップ上に要約しています。 DamageMap™ パターンは、製品歩留りウェーハマップと直接比較して、チャージングダメージの原因となる装置を突き止めることが可能です。これは他のチャージングモニタには備わっていない機能です。
CHARM®-2 アプリケーション補助。 CHARM®-2 ウェーハは、イオン注入装置、レジストアッシャー、シリコンエッチャー、メタルエッチャー、酸化膜エッチャー、スパッタクリーン、CVD システム（酸化膜 CVD システム、メタル CVD システム等）及びスプレー洗浄等の UV 露光量及びチャージング特性の測定に使用されます。CHARM®-2 の応用方法についてお手伝いします。
チャージング問題によるトラブルシューティイング。 チャージングダメージの原因となるプロセス装置を特定するというややこしい問題は、CHARM®-2 を使えば簡単に解決できます。 当社サポートをご活用ください。
装置 & プロセス評価サービス。これは、CHARM®-2 についての知識を得るには一番簡単な方法です。プロセスチェンバに CHARM®-2 ウェーハを置くだけです。あとは、当社がすべて行います。 ウェーハ表面基板電位のウェーハマップ、UV 露光量、チャージングソースの J-V 特性を含めたレポートを提供し、CHARM®-2 を使用したデバイスダメージの予測方法をご覧いただけます。
CHARM®-2 ウェーハ用レジストマスク。 CHARM®-2 ウェーハをそのまま使用することにより、異なるプロセス装置のチャージング特性を比較し、製品ダメージの原因となる装置を特定することができますが、レジスト付 CHARM®-2 ウェーハを使用して実験すると、ウェーハ上のチャージング電位がかなり増加していることが分かります。その結果、製品ダメージとの詳細な関連が必要である場合には、レジストパターン付 CHARM®-2 での評価が必要です。 CHARM®-2 と互換性のあるレジストマスクは、WCM 社で取り扱っております。これは、イオン注入、配線エッチング、酸化膜エッチングの製品プロセス状態での装置からのチャージングの状態を詳細に解析するために使用されます。社内でご使用の製品マスクを使用しても有効な情報を得られる方法をご説明します。
レジスト付 CHARM®-2 ウェーハ。レジストを塗布する装置をお持ちでない場合には、当社は、イオン注入、配線エッチング、または酸化膜エッチングレジストマスクでパターン化されたレジスト付 CHARM®-2 ウェーハをご提供いたします。（また、チャージング結果の詳細解析もご提供します。）
特別プロジェクト。ここに掲載されていないツールやサービスを必要とする場合には、当社にご相談ください。当社は、常にお客様のご要望にお応えすべく共同開発にも対応できます。
サクセスストーリー。 CHARM®-2 モニタウェーハについてのお客様の意見をお聞きになりたい場合には、当社にご連絡ください。参考資料を送付させていただきます。当社は、世界中 80 社、500 以上のクライアントにご満足いただいております。

ホーム | 頁戻り | FAQ | ベンダー紹介 | 販売代理店