WCM   Wafer Charging Monitors, Inc.


設備與製程評估服務
 


這是瞭解 CHARM®-2 最簡單的途徑…

  1. 與我們的全球銷售與服務辦事處聯絡以獲取產品報價和其他詳盡資訊。

  2. 提交購貨訂單,指定您需要的 CHARM®-2 晶圓數量和評估服務。

  3. WCM 將確認您的訂單,對指定的 CHARM®-2 晶圓進行預處理(校準和寫入程式),並以特快專遞的方式直接發送給您。

  4. 收到晶圓之後,您就可以按照製程過程 - 例如電漿蝕刻、電漿沉積和和植入等,用設備的處理容器對它們進行處理(但是應縮短處理時間*)。  (*請提前與我們聯絡以獲得相關的指導。)

  5. 將所使用的 CHARM®-2 晶圓送回 WCM,剩下的工作將由我們處理。

  6. WCM 將為您測試這些晶圓,並提供一份報告,其中包含晶圓表面-基底電勢圖、UV 劑量以及充電源的 J-V 特性。我們還會向您展示如何使用這些資料來預測元件損害。

  7. 在晶圓經過測試(通常是我們收到晶圓後的當日內)之後,WCM 會立即用電子郵件以 Adobe Acrobat Reader 的格式將測試結果發送給您。

  8. 我們還會為您的晶圓「重新寫入程式」,使其可以用於下一次實驗,然後送回給您。(CHARM®-2 監視器晶圓可以多次重複使用,以確定任何 IC 製程設備【包括離子植入器、光阻去除器、蝕刻器和沉積系統】的充電特性,從而使您獲得最高的價值。)
整個過程就是這麼簡單!在整個使用過程中,WCM 可以隨時透過電話為您提供應用程式支援,回答您的問題,指導您完成整個過程。除此之外,我們還會提供電話諮詢服務,為您解釋測試的結果。
 


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