CHARM®-2 モニタウェーハについて知る最も簡単な方法 は . . .

1. 価格およびその他の詳細に関して、当社の世界各地のセールス &サービスオフィスにご連絡くだ さい。

2. CHARM®-2 ウェーハの必要数および評価解析サービス回数を発注して ください。

3. WCM 社では、注文書を確認し、ご指定の CHARM®-2ウェーハを 較正および プログラムした後、直接お客様宛てに発送いたします。

4. ウェーハをお受け取りになられたら、評価された装置、例えばプラズマエッチ、CVD、イオン注入装置等で実際のプロセス条件で短時間処理をしてください。（どの様に処理するかは必要に応じて当社迄ご連絡ください。）実際のプロセスの短縮* バージョンを使用し てご使用の装置のプロセスチェンバよりウェーハを実行してください。 例-- プラズマ エッチ、プラズマ析出、注入など。  (* ガイダンスに関しては、前もって当社までご連絡ください。)

5. プロセス処理された CHARM®-2 ウェーハを WCM 社まで返送してください。当社 にてウェハーの測定、解析を行います。

6. WCM 社では、お客様のウェーハを試験し、ウェーハ 表面基板電位のウェーハ マップ、UV 露光量、チャージングソースの J-V 特性を含めた詳細レポートを 送付させていただきます。 当社では、データを利用した、デバイスダメージの予測方法もご説明いたします。

7. WCM 社からは、試験結果を得られ次第、Adobe Acrobat Reader フォーマッ トにて電子メールで送付いたします (通常お客様のウェーハを受け取った翌日の終業 時刻までに送付いたします)。

8. 当社では、お客様のウェーハを次回の実験に備えて「再プログラム」して、送り 返すサービスも行っております。 (CHARM®-2 モニタウェーハ投資効率を最大化できるように、イオン注入装置、アッシャー、エッチャー、CVD システム等のチャージング特性の定量化プロセス装置に繰り返し使用することができます。