Wafer Charging Monitors, Inc.

CHARM®-2 アプリケーション パッ ケージ  

CHARM®-2 ウェハーがチャージン グモニター用として実用化されて 5 年、WCM 社は今回最高感度を備え、最短の測定、解析時間で処理できるパッケージを用意しました。 本パッケージに は、再使用可能な CHARM®-2 ウェーハ、WCM 社専用の ChargeMap® データ解析およびディスプレイ ソフトウェア、CHARM®-2 のコンセプトを説明し たテクニカル ノート、CHARM®-2 のアプリケーション手順、データ解析、データ 解釈についてユーザーに知って戴くための応用例が載っております。

アプリケーションパッケージのダウンロードについて

CHARM®-2 アプリケーション パッケージの詳細に関しては、以下のファイル をダウンロードしてください。 (ファイルには、2 ページの小冊子が収録されていま す。小冊子には、 ChargeMap®ソフトウェアで得られるウェーハ表面電位マップ、J-V 特性、要調達などが図示され、表面電位マップのみに頼ると、なぜ誤った 結果を生じるかが解説されています。)

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CHARM®-2 アプリケーション パッケージ

表示および印刷の推奨方法

• 表示するには、モニタを 256 色以上に設定し、Acrobat Reader バージ ョン 3.0 以上のご使用を推奨します。(Adobe® Acrobat® Reader バージョ ン 3.0 以上をお持ちでない場合には、以下のリンクから無料版をダウンロードできます。)

• 印刷するには、カラープリンタのご使用を推奨します。(ファイル は白黒レーザープリンタを使用しても印刷できますが、ウェーハマップはカラープリ ンタほどクリアに出力できません。)

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以下の Adobe 社へのリンクから Adobe® Acrobat® Reader の無料版がダウンロードできます。

Acrobat Reader のダウンロード