Wafer Charging Monitors, Inc.

제품과 서비스

재사용 가능한 CHARM®-2 웨이퍼는 200mm, 150mm, 125mm, 100mm 및 75mm 크기 단위로 제공됩니다. 당사는 이러한 모든 크기의 웨이퍼를 재고로 보유하고 있습니다. 고 감도 웨이퍼 및 높은 동적 범위의 웨이퍼 모두가 사용 가능하며, 폭넓은 분야에 적용될 수 있습니다.
Agilent (HP) 및 Keithley 테스터에서 CHARM®-2 웨이퍼 테스트 수행. Agilent(HP)와 Keithley Instruments사의 파라메트릭 테스터를 사용한 CHARM®-2 웨이퍼 현장 테스트가 가능하기 때문에, 한 시간 안에 프로세스 장비 평가를 할 수 있습니다.
CHARM®-2 데이터의 현장 분석을 위한 ChargeMap® 소프트웨어. ChargeMap® 데이터 분석 및 디스플레이 소프트웨어는 Agilent (HP)와 Keithley Instruments사의 테스트 소프트웨어를 보완하여, CHARM®-2 데이터를 현장에서 분석할 수 있게 하였습니다. Winddows 장착 PC에서 실행되는 ChargeMap®은 사용이 아주 쉬우며, 엔지니어링이나 생산 환경에 맞게 구성할 수도 있습니다.
차징 문제를 찾아내는 가장 쉬운 방법인 DamageMap™. ChargeMap®을 새롭게 개선한 DamageMap™은 강제로 게이트 산화물을 만드는 전류 밀도(차징 손상의 실제적인 원인임)를 나타내는 하나의 단순한 웨이퍼 맵으로 CHARM®-2 결과를 요약해서 보여줍니다. DamageMap™ 패턴을 제품 수율 웨이퍼 맵과 직접 비교하면 어떤 장비가 차징 손상을 일으키는지 알 수 있습니다. 다른 차징 모니터는 이러한 기능을 제공하지 않습니다.
CHARM®-2 적용 지원. CHARM®-2 웨이퍼는 UV 도우스 및 이온 주입기, 레지스트 애셔, 실리콘 에칭기, 메탈 에칭기, 산화물 에칭기, 스퍼터 세척 및 증착 장치, 산화물 증착 장치, 메탈 증착 장치 및 스프레이 린스기의 차징 성능을 측정하는 데 사용됩니다. 우리의 적용 노하우를 여러분께 제공해 드릴 것입니다.
차징 문제 해결 지원. CHARM®-2를 사용하면 어떤 장비가 차징 손상을 일으키는지를 알아내는 일이 아주 단순해집니다. 저희가 여러분을 돕게 해 주십시오.
장비 및 프로세스 평가 서비스. 이것은 CHARM®-2에 정통해지는 가장 손쉬운 방법입니다. 여러분은 CHARM®-2 웨이퍼를 프로세스 체임버에 넣기만 하면 됩니다 -- 나머지는 저희가 처리합니다. 당사는 웨이퍼 표면 기판 전위, UV 도우스 및 차징 소스의 J-V 특성에 대한 웨이퍼 맵을 포함한 보고서를 여러분께 제공하며, 장치 손상을 예측하기 위해 이 자료들을 어떻게 사용하는지를 알려 드릴 것입니다.
CHARM®-2 웨이퍼용 레지스트 마스크. 여러분 자신의 제품 마스크를 사용해도, 덜 상세하기는 하지만 유용한 정보를 얻을 수 있습니다. 저희가 방법을 알려 드릴 것입니다.
특수 프로젝트. 여기에 언급되지 않은 툴이나 서비스에 대해 알고 싶으시다면 저희와 의논해 보십시오. 당사는 고객의 요구를 충족시키기 위해 정기적으로 공동 개발에 참여하고 있습니다.
성공 스토리. CHARM®-2 모니터 웨이퍼를 사용해 본 저희 고객들의 소감을 듣고 싶으십니까? 전화를 주십시오 -- 기꺼이 품질을 보증해 줄 거래처를 알려 드리겠습니다. 현재 80개 이상의 회사에서 500명이 넘는 고객들이 저희의 제품에 만족하고 있습니다.

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