Wafer Charging Monitors, Inc.

常問問題
（進階 FAQ）

形貌與光阻對晶圓充電的影響

1.	問.	光阻對晶圓充電有影響嗎？
	答.	肯定有。晶圓表面存在光阻會明顯增加晶圓充電的問題，這個問題已經在以下文章中進行討論：定量分析（via）通路蝕刻導致的晶圓累積電荷
2.	問.	覆層形貌影響充電效應有多明顯？
	答.	覆層形貌相關充電影響可能會非常明顯。在某些情況下，它是最大的影響效應。
3.	問.	我是否可以使用 CHARM®-2 晶圓來研究覆層形貌相關充電影響，如「電子紋影」（electron shading）效果？
	答.	可以。將光阻覆層置於 CHARM®-2「天線」上來模擬產品晶圓上存在的情況，即可做到這一點。WCM 可以提供用於這一用途的「標準」光阻遮罩。
4.	問.	我怎樣才能研究與自已的特定設計規則有關的形貌相關充電影響？
	答.	您可以讓 WCM 為您設計自訂的光阻遮罩。