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  Wafer Charging Monitors, Inc. |
차징 문제를 찾아내는
가장 쉬운 방법인 DamageMap. ChargeMap®을 새롭게 개선한 DamageMap은
강제로 게이트 산화물을 만드는 전류 밀도(차징 손상의 실제적인 원인임)를 나타내는
하나의 단순한 웨이퍼 맵으로 CHARM®-2 결과를 요약해서 보여줍니다.
DamageMap 패턴을 제품 수율 웨이퍼 맵과 직접 비교하면 어떤 장비가 차징 손상을
일으키는지 알 수 있습니다. 다른 차징 모니터는 이러한 기능을 제공하지 않습니다.
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