Wafer Charging Monitors, Inc.|
Wafer Charging Monitors, Inc. |
제품
CHARM®-2 웨이퍼 차징 모니터
재사용 가능한 CHARM®-2 모니터 웨이퍼를 사용하면 웨이퍼가 완성되기 전에 연구소 엔지니어들이
플라즈마 또는 이온 빔의 차징 특성을 측정해 볼 수 있습니다.
수율이 줄어든 기간 동안에 장비 차징 "핑거 프린트"를 비교하면 이상이 있는 장비를 즉시
찾아낼 수 있습니다. 장비 드리프트를 감지하거나 프로세스를 최적화하기 위한 장비 모니터로
재사용 가능한 CHARM®-2 웨이퍼를 정기적으로 사용하면
문제가 발생하기 전에 예방할 수 있으므로 비용을 절감할 수 있게 됩니다.
ChargeMap® 소프트웨어
CHARM®-2 데이터의 현장 분석용.
제품 웨이퍼에 큰 수율 감소를 일으키는 부분과 CHARM®-2 차징 맵의 공간 상관 관계로 알 수
있는 것처럼, 아주 초기에 설치된 ChargeMap®은 여러 종류의 IC 프로세스 장비에서
발생하는 프로세스 장비의 문제점을 해결하지 못했습니다.
DamageMap™ 소프트웨어
DamageMap™을 소개합니다! 표면 전위 측정 기술과 달리, DamageMap™은
차징 전류, 차징 손상의 실제적인 원인에 대한 웨이퍼 맵을 작성합니다.
제품 수율 맵과 DamageMap™ 맵을 직접 비교하면
특정 프로세싱 툴이 게이트 산화물 손상의 원인인지를 알아낼 수 있습니다.
CHARM®-2 적용 패키지
현장 납기와 최상의 측정 민감도를 제공하는 완전한 패키지.
보통 CHARM®-2 웨이퍼와 ChargeMap® 소프트웨어에 들어간 비용은 한 번만 문제가 해결되면
보상을 받게 됩니다.
더 자세한 내용이 필요하시면 당사의 전체 제품 및 서비스 목록을 참조하십시오.
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