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CHARM®-2 모니터 웨이퍼에 친숙해지는 가장 손쉬운 방법입니다 . . .
- 정확한 견적과 기타 세부 사항이 필요하시면 전세계 판매 및 서비스 사무소에 문의하십시오.
- CHARM®-2 웨이퍼와 평가 서비스 번호를 기입한 주문서를 제출해 주십시오.
- WCM은 주문을 확인하고, 지정한 CHARM®-2 모니터 웨이퍼를 조정 및 프로그램한 후, 직접 귀하께 배달해 드립니다.
- 웨이퍼를 수령하고 나면 실제 프로세스(예: 플라즈마, 에치, 플라즈마 증착, 주입 등)의 단축된* 버전을 사용해서 장비의 프로세스 체임버를 통해 웨이퍼를 실행시킬 차례입니다. (*지침이 필요하면 미리 당사로 연락하십시오.)
- 사용한 CHARM®-2 웨이퍼를 WCM으로 돌려 보내면 나머지는 저희가 처리할 것입니다.
- WCM은 웨이퍼를 테스트하여 웨이퍼 표면 기판 전위, UV 도우스 및 차징 소스의 J-V 특성에 대한 웨이퍼 맵을 포함한 상세 보고서를 제공할 것입니다. 또한 장비 손상을 예측하기 위한 데이터 사용법을 알려드릴 것입니다.
- WCM은 즉시 Adobe Acrobat Reader 형식으로 테스트 결과를 e-mail 전송해 드립니다 (보통 웨이퍼를 수령한 다음날까지).
- 당사는 또한 귀하의 웨이퍼를 "재 프로그램"하여 다음 실험을 할 준비가 된 상태로 돌려 보냅니다.
(CHARM®-2 모니터 웨이퍼는 이온 주입기, 애셔, 에칭기 및 증착 장치와 같은 IC 프로세스 장비의 차징 특성을 수량화하는 데 재사용할 수 있기 때문에 가치가 극대화됩니다.)
이것이 전부입니다!
WCM은 처음부터 끝까지 귀하의 질문에 답하기 위해 항시 전화를 받고 전체 프로세스를 안내해 드릴 준비가 되어 있습니다.
또한 테스트 결과의 해석을 돕기 위한 전화 상담도 제공하고 있습니다.
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Wafer Charging Monitors, Inc.