Wafer Charging Monitors, Inc.|
Wafer Charging Monitors, Inc. |
| 1. | Q. | "웨이퍼 차징"이란 무엇입니까? |
| A. | 웨이퍼 프로세싱 단계 도중 웨이퍼의 표면에 전하가 축적되는 현상. |
|
| 2. | Q. | 어떤 종류의 프로세스에서 웨이퍼 차징이 일어날 수 있습니까? |
| A. | 이온 주입, 플라즈마 에칭, 애싱(ashing), 플라즈마 증착 및 스프레이 린싱. |
|
| 3. | Q. | 웨이퍼 차징이 웨이퍼에 손상을 줄 수 있습니까? |
| A. | 예! 그리고 이 손상이 웨이퍼 수율과 제품 안정성을 떨어뜨릴 수 있습니다. |
|
| 4. | Q. | 차징 손상에 취약한 구조는 어떤 것이 있습니까? |
| A. | 박막 게이트 산화물, 섈로우 접합, EEPROM 셀 등. |
|
| 5. | Q. | 웨이퍼 차징 문제는 어떻게 발견할 수 있습니까? |
| A. | WCM의 "CHARM®-2" 웨이퍼 차징 모니터와 ChargeMap® 소프트웨어를 사용합니다. |
|
| 6. | Q. | 어떤 장비가 차징 손상을 일으키는지 알아내는 가장 좋은 방법은 무엇입니까? |
| A. | 각 프로세스 툴을 통해 CHARM®-2 웨이퍼를 실행시킵니다. 차징에 문제가 있다면
이상이 있는 툴이 "손가락 염증"과 같이 돌출될 것입니다! |
|
| 7. | Q. | CHARM®-2 웨이퍼를 사용해서 새로운 프로세싱 툴이 생산에 적합한지 확인할 수 있습니까? |
| A. | 예. "좋다"고 알려져 있는 (웨이퍼 차징 손상을 일으키지 않기 때문에) 이전에 사용하던 툴로부터
생긴 CHARM®-2 결과와 새로운 툴로부터 생긴 CHARM®-2 결과를 비교하면 됩니다.
새로운 툴의 CHARM®-2 결과가 이전에 사용하던 툴의 결과보다 더 좋거나 같으면
새로운 툴로 처리된 웨이퍼도 웨이퍼 차징 손상을 일으키지 않을 것입니다. |
|
| 8. | Q. | WCM의 "CHARM®-2" 웨이퍼 차징 모니터 웨이퍼는 어떻게 작동합니까? |
| A. | 여기에는 특수한 EEPROM 기반 센서가 포함되어 있어서, 실제 웨이퍼 프로세싱 단계
동안에 축적되는 전하의 양을 측정합니다. |
|
| 9. | Q. | CHARM®-2 웨이퍼를 사용하기 위해 내 장비를 수정해야 합니까? |
| A. | 아니오. |
|
| 10. | Q. | 모니터 웨이퍼는 어떻게 사용됩니까? |
| A. | 조사되고 있는 실제 웨이퍼 프로세싱 단계를 거친 다음, 특수 EEPROM 기반 센서를 측정하여
전하량을 판단합니다. |
|
| 11. | Q. | 프로세스 장비에서 웨이퍼 전하량을 정확하게 계량하려면 실험적 분할을 할 때마다 몇 개의 CHARM®-2 웨이퍼가 필요합니까? |
| A. | 한 개. CHARM®-2 웨이퍼는 여러 번 다시 사용될 수 있기 때문에 아주 비용 효율적입니다. |
|
| 12. | Q. | CHARM®-2 결과는 얼마나 재생 가능합니까? |
| A. | CHARM®-2 웨이퍼는 사용 전에 조정되기 때문에
CHARM®-2 결과는 웨이퍼간 및 로트간에 충분히 재생 가능합니다. |
|
| 13. | Q. | 제품 웨이퍼에 대한 손상을 예측하는 데 있어서 이 모니터는 신뢰할만 합니까? |
| A. | 차징 결과가 "좋은" 경우 차징 손상이 일어날 가능성은 희박합니다. 차징 결과가 "나쁜" 경우에는 손상이 일어날 가능성이 있습니다. 차징 결과가 "중간 수준"인 경우 안전을 위해 추가 테스트가 필요합니다. |
|
| 14. | Q. | 모니터 웨이퍼를 측정하기 위해 직접 테스트 소프트웨어를 만들어야 합니까? |
| A. | 아니오. Hewlett-Packard와 Kiethley 모두 자신들의 테스터에서 사용할 수 있도록
CHARM® 모니터 테스트 소프트웨어를 제공합니다. |
|
| 15. | Q. | 테스터 없이도 CHARM®-2 웨이퍼를 사용할 수 있습니까? |
| A. | 예. WCM이 고객 대신 웨이퍼를 테스트하여 결과를 요약한
보고서(웨이퍼 맵과 J-V 도면 포함)를 제출할 수 있습니다. |
|
| 16. | Q. | WCM은 CHARM®-2에 대한 적용을 지원합니까? |
| A. | 예. WCM은 적용 지원과 데이터 분석 지원을 모든 고객께 제공합니다. |
|
| 17. | Q. | 누가 "웨이퍼 차징 모니터"를 사용합니까? |
| A. | 새로운 프로세스와 하드웨어 설계를 점검하려는 반도체 장비 제조업체 및 웨이퍼 제작
프로세스를 개선하고 성능을 확인하는 프로세스 엔지니어. |
|
| 18. | Q. | CHARM®-2 웨이퍼는 어디에 사용됩니까? |
| A. | CHARM®-2 웨이퍼는 잘못된 장비를 식별하고, 장비 안정성을 감시하고, 장비 및 프로세스를
개선하고, 유지보수 후 장비 성능을 확인하고, 웨이퍼 처리량을 개선하는 데 가장 일반적으로
사용되는 장비입니다. |
|
| 19. | Q. | 이 모니터들의 유용성을 증명해줄 사람은 있습니까? |
| A. | WCM은 "비 독점" 참조를 제공하기로 동의한 고객들의 이름과 전화번호를 알려 드릴 수 있습니다. |
| 플라즈마 에치 | 이온 주입 | 플라즈마 증착 |
| 일반 | 토포그라피 및 레지스트 효과 | |
| 홈 | 제품과 서비스 | FAQ | 회사 소개 | 영업 지사 |