Wafer Charging Monitors, Inc.

빈번한 질문
(고급 FAQ)

플라즈마 증착에서의 웨이퍼 차징

1.	Q.	플라즈마 증착 툴에서 CHARM®-2 웨이퍼를 사용할 수 있습니까?
	A.	예. 증착된 재료는 테스트 전에 제거해야 하며, 습식 에칭기를 사용하면 쉽게 제거할 수 있습니다. 우리는 이 작업을 여러 차례 수행하였습니다. 추가 정보가 필요하시면 WCM으로 문의하십시오.
2.	Q.	CHARM®-2 센서는 상승된 온도에서의 산화물 증착 동안의 차징(산화물이 손상에 더 민감한 경우)과 증착에 관계 없는 낮은 온도에서의 차징을 구분할 수 있습니까?
	A.	예. CHARM®-2 웨이퍼는 온도에 민감한 센서와 온도에 민감하지 않는 센서 등과 같이 많은 센서를 가지고 있습니다. 온도에 민감하지 않은 센서의 반응과 온도에 민감한 센서의 반응을 비교하면 상승된 온도에서 어떤 차징 이벤트가 발생하며, 낮은 온도에서는 어떤 이벤트가 발생하는지를 판단할 수 있습니다.