WCM   Wafer Charging Monitors, Inc.

CHARM®-2 웨이퍼는 어떻게 사용되는가...  

재사용 가능한 CHARM®-2 웨이퍼는 우선 조정 후 파라메트릭 테스터에서 프로그램된 다음, 프로세스 체임버에 놓고, 테스트할 짧은 프로세스 동안 노출시킵니다. 이 프로세스에서 만들어진 UV나 수집된 전하는 CHARM®-2 센서의 EEPROM 트랜지스터의 임계 전압을 변경시킵니다. 그런 후 CHARM®-2 웨이퍼를 파라메트릭 테스터에서 테스트하여 (표준 모델 중 하나) 차징 데이터를 수집하고 나서, 다음 적용을 준비하기 위해 같은 파라메트릭 테스터에서 다시 프로그램할 수 있습니다. 이 방법을 사용하면, 이온 주입기, 레지스트 애셔, 플라즈마 에칭기 및 플라즈마 증착 장치를 포함한 IC 프로세스 장비의 차징 특성을 수량화하는 데 CHARM®-2 차징 모니터 웨이퍼를 계속 재사용할 수 있습니다.


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