Wafer Charging Monitors, Inc.

Wafer Charging Monitors 社について 当社では、お客様にお伺いしまして、当社の製品情報およびサービスのプレゼンテ ーショ ンを行っております。お客様の特別な必要性やご関心及び プレゼンテーションの予定についてのご相談は、WCM 社社長兼チーフエンジニア、 Wes Lukaszek (650) 851-9313 までご連絡ください。

WCM 社社長 & チーフエンジニア WCM 社の社長兼チーフエンジニアである、Wes Lukaszek 博士 は、シリコン バレーの半導体産業に長年従事し、スタンフォード大学の前シニアリサーチサイエン ティストでした。Intel、Zilog、Hewlett Packard などの有名企業の技術開発部門 に勤務した後に、1984 年、Lukaszek 博士は、スタンフォード大学の Center for Integrated Systems に参加し、プロセス上の問題解析および歩留りと信 頼性向上に向けてのツ ールと技術を開発しました。この間、IC の各プロセスに於けるチャージングのモニター及びそのダメージの可能性を評価する技術の開発に携わっていました。これらの初期の研究により、 CHARM®-2 が開発され、新しい半導体装置 開発と IC の製造段階におけるウェハーチャージング評価の標準ツールとなりました。