Wafer Charging Monitors, Inc.|
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製品
CHARM®-2 Wafer Charging Monitors
再使用可能な CHARM®-2 モニタウェーハは、製品用ウェ
ーハがライン投入される前にプラズマやイオンビームのチャージング特性を測定することにより、。
歩留りが減少した期間に於ける装置のチャージングの特徴を比較し、即座に問題を起こした装置を識別することができます。装置変動を検出したり、プロセスを最適化す
る装置モニタとして再使用可能な CHARM®-2 ウェーハ
の使用を定期的に行うことにより、費用のかかる問題が発生する前に防ぐことができます。
ChargeMap® ソフトウェア
CHARM®-2 データの現場での解析用ソフトです。
ChargeMap® が使用され始めた時にいくつかの製造装置で
チャージングに関する問題があることが、製品ウェー
ハ上の歩留りの低い領域と CHARM®-2 チャージングマップの分布が良く一致していることから明らかになった相関関係による通りです。
DamageMap™ ソフトウェア
DamageMap™ の導入 ! 表面電位測定技術とは違って、
DamageMap™では、
チャージングダメージの真の原因である、チャージング電流のウェーハ マッ
プ
を作成します。
DamageMap™ マップと製品歩留りマップを直接比較することにより、どの製造装置がゲート酸化膜ダメージの原因となっていることかが特定できます。
CHARM®-2 アプリケーションパッケージ
CHARM-2ウェハー及び解析ソフトを含むアプリケーションパッケージ1式は使用現場での精度の高い測定と短い処理時間を提供します。このパッケージコストは、チャージングダメージによる歩留低下を1回だけ防ぐことにより充分回収し得る金額です。完全パッケージには、オンサイト ターンアラウンド
タイムと最高の測定精度が備わっています。一般的に、CHARM®-2 ウェーハおよ
び ChargeMap®ソフトウェアのコストは、問題を解決して初めて回収することが
できるといえるでしょう。
詳細情報に関しては、製品情報およびサー ビスの詳細一覧をご覧ください。
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