Wafer Charging Monitors, Inc.

CHARM®-2 ウェーハの使用方法について ...  

再使用可能な CHARM®-2 ウェーハは、初めにパラメトリックテスターで較正、プログラムされます。お客様に出荷されたウェハーはプロセッサチャンバー内で、実プロセスの条件で短時間処理されます。この処理の間に CHARM®-2 ウェーハ上の EEPROM で構成されたセンサーにチャージされた電荷や照射された UV 光により、このデバイスのしきい値電圧 （VT）が変化します。次にパラメトリックテスター（数種類の標準モデル）でチャージングのデータが収集され、その後、同じテスターで次の処理に備えて再プログラムされます。この様に CHARM®-2 ウェーハはイオン注入装置、レジストアッシャー、エッチャー、プラズマ CVD 装置等の IC 製造装置のチャージング特性の評価に繰り返し使用することができます。